大面积等离子体处理装置与均匀等离子体生成方法

摘要

一种防止异常放电的大面积等离子体处理装置，包括一超高频电源、一功率放大器、一匹配箱、一180°相位差功率分配器、一示波器、一真空容器、二平行平板电极及一可变电容器。该180°相位差功率分配器与该匹配箱电性连接，接收从该超高频电源传来的超高频电力，将超高频电力转换为180°相位差电位超高频电力。各该平行平板电极分别以一同轴电缆线与该180°相位差功率分配器电性连接，以接收180°相位差的超高频电力。藉由上述结构可节省不必要的异常放电耗损电费，更能获得高均匀度膜厚的大面积高质量功能性薄膜。本发明亦揭露一种均匀等离子体生成方法。