集成化电容式微加工超声换能器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种集成化电容式微加工超声换能器的制备方法，包括以下步骤：在玻璃衬底上制备缓冲过渡层；制备薄膜晶体管的源、漏电极；制备薄膜晶体管的半导体有源层；制备薄膜晶体管的栅介质层；制备薄膜晶体管的栅电极；制备第一氮化硅薄膜，对第一氮化硅薄膜进行刻蚀，形成凹槽；在高掺杂硅基片上沉积第二氮化硅薄膜；将第一氮化硅薄膜和第二氮化硅薄膜通过晶片键合技术粘接，在两层氮化硅薄膜之间形成微空腔；对高掺杂硅基片进行刻蚀剥离；制备电容式微加工超声换能器的上电极；制备超声波耦合层。本发明还公开了上述方法制备的集成化电容式微加工超声换能器。本发明可以提高电容式微加工超声换能器的灵敏度和微型化，降低加工成本。