一种压阻传感元件及其制备方法

摘要

本发明提供了一种压阻传感元件。该压阻传感元件以类金刚石碳膜为压阻材料，由衬底、位于衬底表面的类金刚石碳膜，以及位于类金刚石碳膜表面金属电极组成。与现有的压阻传感元件相比，该元件具有高灵敏度系数GF值，同时由于非晶碳的各向同性，其在各个方向的灵敏度相同，并且可通过改变工艺参数对GF值进行调控；另外，该元件可在强酸碱环境、摩擦接触服役等特殊环境及工况下工作，因此具有良好的应用前景。