离子注入机靶盘吊具及离子注入机

摘要

本申请涉及半导体制造设备技术领域，具体而言，涉及离子注入机；本申请的目的在于提供一种离子注入机靶盘吊具及离子注入机，可以节省拆装靶盘时的人力和用时。其中，所述离子注入机靶盘吊具包括连接臂组件和靶盘连接板；所述连接臂组件包括连接臂和分别设置在所述连接臂两端的注入机连接部和连接板连接部；所述靶盘连接板包括靶盘连接部和设置在所述靶盘连接部的连接面上的至少一个凹槽，在所述凹槽中设有用以连接靶盘的连接孔；所述连接板连接部与所述靶盘连接部连接。另外，本申请提供的种离子注入机包括离子注入机本体和前述的离子注入机靶盘吊具，所述离子注入机靶盘吊具的注入机连接部与所述离子注入机本体固定连接。