基于铁硅铝软磁材料的复合软磁材料薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种基于铁硅铝软磁材料的复合软磁材料薄膜及其制备方法所述薄膜包括铁硅铝软磁粉末颗粒、水玻璃脱水形成的二氧化硅硬化网络结构以及锰锌铁氧体软磁粉末颗粒，其中铁硅铝软磁粉末颗粒被锰锌铁氧体软磁粉末颗粒绝缘包覆，颗粒之间通过所述水玻璃脱水形成的二氧化硅硬化网络结构粘结，形成机械强度。该薄膜制备包括对薄膜基材铁硅铝软磁粉末的预处理、对薄膜基材用锰锌铁氧体软磁粉末的绝缘包覆、用粘结剂水玻璃的低温固化成型。本发明用锰锌铁氧体作为绝缘剂，能够调节复合软磁材料薄膜的高频磁性能，提高工作频率上限；具有良好的粘结力。本发明节能化、绿色化，工艺兼容性好，可获得综合磁性能优良的复合软磁材料薄膜。