公开/公告号CN103219265B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-24
原文格式PDF
申请/专利权人 EV集团有限责任公司;
申请/专利号CN201310126332.X
申请日2011-03-29
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人胡莉莉
地址 奥地利圣弗洛里安
入库时间 2022-08-23 09:44:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-24
授权
授权
2013-08-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20110329
实质审查的生效
2013-07-24
公开
公开
机译: 在处理室中的层沉积期间用于支撑衬底载体和掩模载体的保持装置,用于在衬底上沉积层的设备以及将掩模载体与支撑衬底的衬底载体对准的方法
机译: 电声组件,具有布置在载体衬底和压电衬底之间的层系统,并包括金属层和介电层,其中压电衬底的厚度最大为载体衬底的厚度的一半
机译: 在处理室中进行层沉积期间用于支撑衬底载体和掩模载体的保持装置,用于在衬底上沉积层的设备以及将掩模载体与支撑衬底的衬底载体对准的方法