搭配在单轴机器人上的搬运治具

摘要

本实用新型涉及机械手技术领域，特别是一种搭配在单轴机器人上的搬运治具。包括晶圆手臂和安装在其末端的手指，所述手指承载面上设有左吸盘、右吸盘和中吸盘，左吸盘和右吸盘设置在承载面的两侧，中吸盘设置在承载面的中部，分别与手指内部的气路相连接，气路连接到外部的负压装置。本装置集扫片、取放片、刻度标定于一体，有效提升了使用效率。