公开/公告号CN215224663U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 邹平双飞成套设备有限公司;
申请/专利号CN202120835615.1
申请日2021-04-22
分类号A23N17/00(20060101);G01N9/00(20060101);
代理机构37278 济南誉琨知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人庞庆芳
地址 256200 山东省滨州市邹平市码头镇李码村
入库时间 2022-08-23 03:39:11
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置