一种带有接触孔以固定和排列探针的探针卡硅基板

摘要

本实用新型公开了一种带有接触孔以固定和排列探针的探针卡硅基板，具体涉及探针卡的硅基板领域，包括多个分割片，所述分割片外沿处均匀设置有多个排列部，所述排列部包括排列凸块和排列槽，所述排列凸块与排列槽间隔分布，多个所述分割片均纵向贯穿开设有多个第一接触孔且水平布置，相邻分割片之间设置有水平联接装置和弹性部。本实用新型通过分割用于固定和排列探针的硅基板，将其排列和联接，可以扩大尺寸而不受限于被测对象的尺寸，不需要针对不同尺寸的被测对象生产与之相适应的探针卡的昂贵设备，用一种设备便可生产用于不同尺寸被测对象的探针卡，并且使分割的部分保持精确的排列状态，从而具有保证被测件的测试结果准确度的作用。