公开/公告号CN214542150U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-10-29
原文格式PDF
申请/专利权人 阳程科技股份有限公司;
申请/专利号CN202120157853.1
申请日2021-01-20
分类号H01L21/673(20060101);H01L21/687(20060101);
代理机构11139 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司;
代理人李林
地址 中国台湾桃园市
入库时间 2022-08-23 01:20:39
机译: 用于在热处理过程中支撑晶片的硅治具及其制造方法
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