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使用于基板制程中与遮罩结合的治具

摘要

本实用新型提供一种使用于基板制程中与遮罩结合的治具,其中该治具于本体的基座表面上为定位有基板,并于基座周围的边框上设有复数穿孔及容置槽,且各容置槽内装设的压扣组件包含一底座、设置在底座二侧的导轨、位于二导轨间的压块及弹性元件,再于二导轨相对内侧处分别设有前方具转折段的轨槽,且压块二侧处分别设有沿着轨槽的转折段于进退行程中作纵向高度的动作变化的复数凸轮,当遮罩结合于本体上并由底部的对扣件分别伸入于穿孔中,可通过弹性元件来带动压块朝穿孔方向移动,使其前方的扣持部由上往下扣压于对扣件上,以改善传统夹持扣具在扣合时很容易推挤导致不到位、扣合力不足和磨擦产生粉屑的状况,进而提升制程的品质与合格率。

著录项

  • 公开/公告号CN214542150U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-10-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 阳程科技股份有限公司;

    申请/专利号CN202120157853.1

  • 发明设计人 黄秋逢;游象岳;林志煌;

    申请日2021-01-20

  • 分类号H01L21/673(20060101);H01L21/687(20060101);

  • 代理机构11139 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人李林

  • 地址 中国台湾桃园市

  • 入库时间 2022-08-23 01:20:39

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