大尺寸大质量CQFP微系统器件PIND试验的夹具

摘要

本实用新型涉及PIND试验夹具、属于微电子器件试验领域，具体涉及大尺寸大质量CQFP微系统器件PIND试验的夹具，该夹具包括上固定座、下固定座和内六角螺栓；被测CQFP双面多腔微系统器件固定在所述上固定座和所述下固定座之间的容纳槽上，所述上固定座和所述下固定座通过所述内六角螺栓连接；在分别进行所述CQFP双面多腔微系统器件的上腔或下腔PIND试验时，所述上固定座或所述下固定座分别通过水溶胶与换能器平台黏合连接；避免了在PIND试验过程中引脚和框架出现裂纹、断裂等损伤的现象，提供一种可以对此器件的引脚和框架予以受力支持的PIND试验夹具，同时避免了采用传统独立夹具、需要设置两套夹具的现象。