一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备

摘要

本实用新型公布了一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备，包括：进气管，出气管，进气管与出气管通过吸附塔连接在一起，所述吸附塔内设置有脱氧装置，脱氧装置包括有第三脱氧层、第二脱氧层、第一脱氧层，所述第三脱氧层、第二脱氧层、第一脱氧层均被夹层包裹在内，三脱氧层、第二脱氧层、第一脱氧层内填充的脱氧剂均不相同，通过在吸附塔内设置三级脱氧层，经过层层提高还原剂的密度以及逐渐增强还原剂的还原性，能够逐级逐层还原掉废气中的氧化合物，使氧化合物在经过三级还原后能够被彻底转化为其他容易过滤或者分馏的产物，提高了吸附塔内的吸附效率，能够保证六氯甲烷的纯度。