一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置

摘要

本实用新型公开了一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置，包括：吸附塔，所述吸附塔内设置有脱氧装置，所述吸附塔分别接有进气头与出气头，所述脱氧装置的外周面设置有输送筒，所述进气头外接有加热器，经加热器加热后的气体通过出气头逆向输入到脱氧装置、输送筒内，所述输送筒内设置有若干旋流口，旋流口沿脱氧装置的方向依次设置有第一增压阶、第二增压阶，将氮气通过加热器内加热到300℃，将加热后的氮气通过出气头逆向输入到吸附塔内的脱氧装置中，与脱氧装置中的脱氧剂发生反应，将脱氧剂中的氧化性杂质经过热氮气夹带进入尾气排放管排出，使得脱氧剂的吸附能力恢复，能够不需要经过人工即可恢复脱氧剂的还原性。