一种低功耗MEMS氢气传感器

摘要

本实用新型提供一种低功耗MEMS氢气传感器，包括衬底层、下绝缘层、金属丝层和上绝缘层；衬底层表面开隔热槽，下绝缘层覆盖于衬底层上，下绝缘层设有与隔热槽对应的镂空窗口；金属丝层包括贵金属材质的第一金属丝和第二金属丝，第一金属丝为用作敏感单元的裸金属丝，第二金属丝为用作参比单元的、包裹有钝化层的金属丝；该第一金属丝和第二金属丝的两端均设有用于引出信号的焊盘，焊盘固定于下绝缘层与上绝缘层之间；第一金属丝和第二金属丝的中部均设有悬置于隔热槽上方的感测部；上绝缘层覆盖于金属丝层上。本实用新型可解决带支撑结构的低功耗氢气传感器导热损耗大，以及金属材料跟支撑材料间的热失配而损坏结构的问题。