公开/公告号CN213957488U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-08-13
原文格式PDF
申请/专利权人 杭州士兰微电子股份有限公司;
申请/专利号CN202022484995.7
申请日2020-10-30
分类号G01R21/00(20060101);G01R31/00(20060101);G01M17/007(20060101);G05D23/19(20060101);
代理机构31295 上海思捷知识产权代理有限公司;
代理人王宏婧
地址 310012 浙江省杭州市黄姑山路4号
入库时间 2022-08-22 23:40:29
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