公开/公告号CN213924127U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-08-10
原文格式PDF
申请/专利权人 长沙紫宸科技开发有限公司;
申请/专利号CN202022330278.9
申请日2020-10-19
分类号C02F1/40(20060101);C02F1/48(20060101);C02F1/44(20060101);C02F103/08(20060101);
代理机构43205 长沙星耀专利事务所(普通合伙);
代理人宁星耀;许伯严
地址 410205 湖南省长沙市高新开发区文轩路27号麓谷钰园D区3栋101号二楼
入库时间 2022-08-22 23:36:52
机译: 阴极磁控雾化的一种方法。
机译: 冷却系统,例如一种用于CD涂层的磁控阴极靶,具有一个扁平轴承环,该轴承环带有用于U形活塞四肢的凹槽,以在该环和活塞内部之间形成冷却通道
机译: 一种用于连续磁控阴极溅射的机器。