一种晶圆表面温度一致的加热装置

摘要

一种晶圆表面温度一致的加热装置，包括固定板，所述固定板顶端两侧设置有支撑柱，支撑柱顶端设置有顶板，所述固定板底端两侧设置有支脚，固定板上设置有气缸，气缸顶端设置有安装板，所述安装板上设置有伸缩杆，伸缩杆顶端设置有放置盘，所述放置盘内部设置有第二加热件，放置盘外壁设置有凹槽，在使用时，将晶圆放置在导热板上，然后气缸带动伸缩杆使放置盘进行上升，使上盘通过插板导入凹槽内部，上盘与放置盘相连接，所述的第二加热件通过导热板对晶圆底端设置进行加热，第一加热件在上盘内部对晶圆上部进行加热，使加热温度保持一致，并且通过导热板上设置的通孔使晶圆加热使更加均匀，提高加热装置的实用性和温度一致性。