可抑制杂散模的射频声波谐振器

摘要

本实用新型提供了一种可抑制杂散模的射频声波谐振器，包括：电极、压电薄膜(2)以及硅衬底(4)；所述电极包括：顶电极(1)、底电极(3)；所述顶电极(1)设置于压电薄膜(2)的上侧；所述底电极(3)设置于压电薄膜(2)的下侧；所述硅衬底(4)设置于底电极(3)的下侧；所述可抑制杂散模的射频声波谐振器采用以下任意一种结构：‑硅反面刻蚀结构；‑空隙结构；‑布拉格反射层结构。本实用新型通过采用各边不平行的顶电极形状，解决了常规顶电极容易激发寄生杂散模的问题，使得谐振器的谐振曲线趋于平坦，优化谐振器的性能。