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一种用于砷化镓位错腐蚀的放置篮

摘要

本实用新型涉及晶体加工技术领域,尤其涉及一种用于砷化镓位错腐蚀的放置篮,包括两块固定板,两块固定板之间安装有底板,底板上安装有若干分隔板,两块固定板上安装有手提架,两块固定板上穿设有第一滑杆,两块固定板上穿设有第二滑杆,两块固定板上均安装有锁紧组件,锁紧组件与第一滑杆连接,用来解决在砷化镓KOH腐蚀过程中,用镍丝缠绕的方式容易划伤晶片,使晶片上产生大量的划痕,影响腐蚀效果;并且每一张晶片都必须缠绕镍丝,需要消耗大量的时间和人力,工作效率极低;同时对镍丝的使用消耗较大,增加了工作成本的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN213706435U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-07-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 威科赛乐微电子股份有限公司;

    申请/专利号CN202022183250.7

  • 发明设计人 李敏;傅伟力;李勇;冉东海;

    申请日2020-09-29

  • 分类号B65D61/00(20060101);B65D25/10(20060101);B65D25/04(20060101);B65D25/28(20060101);

  • 代理机构44245 广州市华学知识产权代理有限公司;

  • 代理人张晨

  • 地址 404040 重庆市万州区万州经开区高峰园B02

  • 入库时间 2022-08-22 22:59:21

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