一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构

摘要

本实用新型公开了一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构，包括减速电机、磁控溅射靶材、轭铁和防护外壳组件，所述防护外壳组件内插接有出水接头和进水接头，所述减速电机输出端设有同步带，所述减速电机通过同步带与主轴旋转皮带轮传动连接，所述防护外壳组件内部位于进水接头的一侧设有空气密封圈，所述空气密封圈上设有压缩空气连接管，所述防护外壳组件内部位于空气密封圈的两侧分别设有二级密封圈和一级密封圈，所述防护外壳组件的内部转动安装有旋转主轴，且所述进水接头插接安装在旋转主轴内。本实用新型具备在使用过程中，一级密封圈因磨损失效时，由于空气密封圈的压差作用，冷却水不会存在泄漏现象，从而保证了生产设备的正常运行的优点。