浅谈旋转阴极端头维护和安装

摘要

本文主要介绍了镀膜生产线旋转阴极端头和靶材日常使用中的维护与安装,磁控溅射旋转阴极在双银、三银等新产品的开发中扮演了重要的角色。通过几年的生产经验，清楚地认识到，在对设备维修保养的过程中细节很重要，应认真按照步骤来操作才能使设备的性能更稳定，才能为生产提供更好的保障。