一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极

摘要

本发明属于磁控溅射镀膜技术领域，具体的说是一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极，包括转轴；所述转轴上固接有从动轮；所述从动轮上啮合有传动皮带；所述传动皮带另一侧啮合有驱动轮；所述驱动轮固接在电机的输出端；所述转轴的一侧固接有磁路壁；通过在磁路壁侧面设置磁场调节机构，旋转机构内的调节螺母，使得螺杆带动磁铁靠近或远离靶材的结构设计,实现了可对磁场的大小进行调节的功能，解决了现有的旋转阴极在使用的过程中，由于磁场的大小无法调节，使得镀膜工艺的局限性较大，更换磁铁的工艺较为繁琐，使得镀膜的效率较低，且可镀膜的范围很小的问题。