一种光刻音叉晶体片及音叉谐振器

摘要

本实用新型涉及一种光刻音叉晶体片，包括晶体片、第一电极及第二电极，所述晶体片包括固定体、第一振动臂及第二振动臂，所述第一振动臂及所述第二振动臂对称设置，且皆由所述固定体的一侧向外延伸；所述固定体上开设有贯穿所述固定体且对称设置的第一电极孔及第二电极孔，所述第一振动臂包括第一连接部及第一调频部，所述第一连接部位于所述第一调频部与所述固定体之间，分别连接所述第一调频部及所述固定体。本实用新型还提供一种音叉谐振器，本实用新型提供的光刻音叉晶体片及音叉谐振器可减少连接线，以在音叉尺寸小的情况下，避免由于连接线的线宽窄，而在曝光显影时候容易短路。