一种超快绿光激光透明材料的加工装置

摘要

本实用新型公开了一种超快绿光激光透明材料的加工装置，由光纤超快激光器、聚焦透镜和焦点调整机构组成，其特征在于：光纤超快激光器主要由输出波长在1020纳米～1090纳米之间的种子激光器、多级或单级光纤放大器、准直器、倍频器件构成，种子激光器上设有脉冲控制装置；种子激光器的输出光经光纤放大器放大，由准直器准直后经倍频器件输出绿光激光脉冲串；脉冲串聚焦在透明材料的待加工位置，焦点调整机构按设定轨迹调节聚焦点相对透明材料的位置，以垂直于所述透明材料的上表面和下表面的方向为上下方向，聚焦点与透明材料之间具有上下方向相对运动的自由度。本实用新型能大大提高材料去除效率，不需要加热或酸侵的后续工序，也不会产生斜角。