悬臂的弹簧常数确定方法及采用该方法的扫描型探针显微镜

摘要

本发明涉及悬臂的弹簧常数确定方法及采用该方法的扫描型探针显微镜。由于扫描型探针显微镜等使用的硅加工中的各向异性蚀刻而剖面形状为梯形形状的悬臂中，不用直接测量厚度而确定悬臂的弹簧常数。从剖面的梯形的上底和下底的长度及由于各向异性蚀刻而出现的面的几何学规则性确定悬臂的厚度，由这些和悬臂的长度及杨氏模量确定悬臂的弹簧常数。