公开/公告号CN213278016U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN202021375493.4
申请日2020-07-14
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/02(20060101);
代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳;刘芃茜
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-22 21:40:42
机译: 处理液供给喷嘴,具有该喷嘴的基板处理装置以及处理液供给喷嘴的制造方法
机译: 处理液供给喷嘴,具有该喷嘴的基板处理装置以及处理液供给喷嘴的制造方法
机译: 处理液供给喷嘴,具有该喷嘴的基板处理装置以及处理液供给喷嘴的制造方法