公开/公告号CN112242321A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-19
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN202010673489.4
申请日2020-07-14
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/02(20060101);
代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳;刘芃茜
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 09:36:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 专利申请号:2020106734894 申请日:20200714
实质审查的生效
机译: 处理液供给喷嘴,具有该喷嘴的基板处理装置以及处理液供给喷嘴的制造方法
机译: 处理液供给喷嘴,具有该喷嘴的基板处理装置以及处理液供给喷嘴的制造方法
机译: 处理液供给喷嘴,具有该喷嘴的基板处理装置以及处理液供给喷嘴的制造方法