一种微阀及利用该微阀控制微流体输运的方法

摘要

本发明公开了一种微阀及利用该微阀控制微流体输运的方法，该微阀包括压电基片，压电基片的工作表面上设置有叉指换能器，且位于叉指换能器激发的声表面波的声传输路径上设置有第一PDMS微槽，第一PDMS微槽的顶端开口上覆盖有导热金属片，导热金属片的上表面上设置有第二PDMS微槽，第二PDMS微槽的顶端开口上连接有PDMS软薄片，第二PDMS微槽的顶端上连接有PDMS聚合体，PDMS聚合体中软光刻有两条微通道，PDMS聚合体的底端与PDMS软薄片位置相对应处开设有与微通道连通的缺口，且缺口的边缘与PDMS软薄片密封连接；优点是无需气泵等体积较大的控制设备，利用声表面波就可实现微阀的开启与关闭，不仅使得微阀的结构简单、体积小，易集成于微流器件中，且响应速度快。