一种压电微泵支承结构及气体控制装置

摘要

本实用新型属于流体输送设备技术领域，具体涉及一种压电微泵支承结构及气体控制装置。一种压电微泵支承结构，包括压电微泵，包括共振板、压电振子和电极组件，共振板和压电振子依次层叠设置，压电振子的远离共振板的一侧连接有电极组件；底板，与压电微泵的远离共振板的一端连接且两者之间间隙形成进气腔，底板对压电微泵进行支撑和约束。一种气体控制装置，包括压电微泵支承结构；外壳罩设在压电微泵外部，并与电极组件密封连接以形成出气腔，外壳上形成有与出气腔连通的出气通孔。解决了现有技术中的压电微泵需通过周向延伸的连接部连接至外围的支承部上，支承部被层压固定，大大加大了压电泵的体积的技术问题。