一种无阀压电微泵设计与分析

摘要

基于扩散口/收缩口的无阀压电微泵,利用扩散口/收缩口的整流特性来代替单向阀实现流体的泵送.在选取压电相和基体相,并建立压电体单元、基体实体单元.利用ANSYS软件仿真求解,设计出微泵尺寸16mm×16mm×1.7mm,泵腔的尺寸直径13mm,厚度0.2mm,扩散口/收缩口大端边长0.8mm,小端边长0.52mm,长0.4mm,并简述了微泵制造工艺流程.