一种单晶硅生产加工拉晶炉的冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅生产加工拉晶炉的冷却装置，包括底座、籽晶和冷却装置，本实用新型通过在炉体内部上端设置了冷却装置，依次将进水管和出水管与外部水冷设备连接，然后在将进气管和出气管与外部惰性气体设备连接，然后在外部水冷设备与外部惰性气体设备的运行作用下，使水冷管实现冷却箱内部的循环活动，而在惰性气体循环下，进一步加大冷却箱内部冷却效果，然后单晶棒移入到冷却箱中部时，会在冷却箱内部冷却效果下，实现对单晶棒的冷却，避免单晶棒生长缺陷，从而达到了提高对单晶硅生产速率，避免生产缺陷的优点。