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一种MEMS压力传感器测试结构

摘要

本实用新型公开了一种MEMS压力传感器测试结构,包括主体支架、安装于主体支架上的第一挡框,所述主体支架上固定安装有Z轴模组,位于主体支架上还设有第一测试结构,所述第一测试结构与Z轴模组连接。本实用新型的有益效果是,通过测试结构与Z轴模组配合,能够有效地对MEMS压力传感器进行测试,并且Z轴模组能够控制测试结构上下移动,适用范围大。

著录项

  • 公开/公告号CN212903713U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-04-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州搏技光电技术有限公司;

    申请/专利号CN202021935135.4

  • 发明设计人 陈恕华;胡晨光;

    申请日2020-09-07

  • 分类号G01L25/00(20060101);G01L27/00(20060101);

  • 代理机构32385 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人邵永永

  • 地址 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢101室

  • 入库时间 2022-08-22 20:38:03

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