离子注入机用护板及离子注入机

摘要

本实用新型公开了一种离子注入机用护板，包括若干用于遮挡离子注入机工艺腔内壁的单元板，若干所述单元板可拆卸的设于工艺腔内。本实用新型还公开一种离子注入机，包括工艺腔，所述工艺腔内可拆卸的设有护板。本实用新型提供的离子注入机用护板及离子注入机，提高了离子注入机的稼动率。