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一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊

摘要

本实用新型提供一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊,其可以有效的缩短真空腔体抽气时间,提高工作效率,降低加工成本。其包括:内部为真空腔的气囊本体,所述气囊本体外形为矩形,所述气囊本体的侧壁上设置用于连接真空泵的预抽口。

著录项

  • 公开/公告号CN212560428U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-02-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 无锡爱尔华光电科技有限公司;

    申请/专利号CN202021762791.9

  • 发明设计人 叶飞;刘晓萌;

    申请日2020-08-21

  • 分类号C23C14/56(20060101);C23C16/54(20060101);

  • 代理机构32227 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人顾吉云;黄莹

  • 地址 214000 江苏省无锡市滨湖区胡埭镇金桂路7号

  • 入库时间 2022-08-22 19:48:26

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