公开/公告号CN112030131A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-04
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡爱尔华光电科技有限公司;
申请/专利号CN202010849040.9
申请日2020-08-21
分类号C23C14/56(20060101);C23C16/54(20060101);
代理机构32227 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙);
代理人顾吉云;黄莹
地址 214000 江苏省无锡市滨湖区胡埭镇金桂路7号
入库时间 2023-06-19 09:07:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-06-20
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C14/56 专利申请号:2020108490409 申请公布日:20201204
发明专利申请公布后的撤回
机译: 一种抽气式单流涡轮分子泵的安装方法-真空泵,根据该方法,抽气式涡轮分子泵的安装-真空泵
机译: 一种用于真空腔室屏蔽或真空腔室接触片的片状制备方法
机译: 使用快门监测真空沉积膜的厚度的方法和真空沉积装置,其采用一种方法来容易地监测形成在真空腔室内的基质上的厚膜的厚度