首页> 中国专利> 一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法及真空气囊

一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法及真空气囊

摘要

本发明提供一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法,其可以有效的缩短真空腔体抽气时间,提高工作效率,降低加工成本。本发明技术方案中,通过设置一种真空气囊,将真空气囊预先进行真空抽气,然后放入进出片腔体,达到缩短抽真空时间,提高工作效率的目的。同时本发明还公开了一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊。

著录项

  • 公开/公告号CN112030131A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 无锡爱尔华光电科技有限公司;

    申请/专利号CN202010849040.9

  • 发明设计人 叶飞;刘晓萌;

    申请日2020-08-21

  • 分类号C23C14/56(20060101);C23C16/54(20060101);

  • 代理机构32227 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人顾吉云;黄莹

  • 地址 214000 江苏省无锡市滨湖区胡埭镇金桂路7号

  • 入库时间 2023-06-19 09:07:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-06-20

    发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C14/56 专利申请号:2020108490409 申请公布日:20201204

    发明专利申请公布后的撤回

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号