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中国真空学会2009年真空工程学术交流会

召开年：2009
召开地：西宁
出版时间： 2009-07

主办单位：中国真空学会

会议文集：中国真空学会2009年真空工程学术交流会论文集

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1.从第十届国际真空展看真空行业发展
- 苏原
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：根据多次真空展的统计数据,总结出第10届国际真空展的四大亮点:参展厂商数及参展外商数、展位数均创历史新高;干泵成展会主角;流通、服务业方兴未艾,国内参展厂商高端产品比重增加。通过参展,作者认为:应从新能源开发,在新一轮产业革命中寻求真空行业发展的新机遇。
2.水环真空泵带一级大气喷射器设计计算
- 陈维茂;燕洪顺
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：本文介绍了极限压力为33hPa的单级水环真空泵带一级大气喷射器时设计工况点及压缩比的选取,引射系数的计算确定及关键几何参数喷咀和扩压器的喉径的计算,并对水温的影响及旁道管路进行了介绍。
3.液环真空泵及机组节能设计和选型的方法探讨
- 林汉光
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：通过分析液环真空泵的功耗组成,探讨液环真空泵节能设计的方法,并就液环真空泵的过流部件叶轮、分配板和泵体的节能设计和制造展开探讨,研究和提出液环真空泵过流部件节能设计的方法,提出设计适合不同吸入压力范围的液环真空泵,并就节能选型进行举例说明。
4.真空泵爪形转子的平衡方法研究
- 于存荣;李端玲;徐曦
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：用去除材料的方法对爪式转子做平衡分析,利用平衡理论计算得出待移除的质量m和待移除质量m在转子上的分布位置A(x,y,z)。然后借助Pro/Engineer、Adams等仿真工具对去除质量后的转子进行平衡的模拟仿真,得到模拟的平衡结果。传统的平衡方法是将转子放到平衡机上,用试探性的方法去除材料,然后来验证平衡效果,这样要反复实验才能得到满意的结果。将仿真结果和直接在平衡机上做的平衡效果进行比较,结果表明:前者平衡效果比后者好,从实际的操作角度来说,前者一步到位,不用反复试验,节省时间。
5.HIRFL充气反冲谱仪真空差分系统
- 杨晓天;蒙峻;储继国;张素平;游志明;赵玉刚
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：兰州重离子加速器(HIRFL)的充气反冲谱仪在工作的时候,需要注入100Pa的氦气作为支撑气体。与之相连的HIRFL后束运线真空系统的真空度为10-5～10-6 Pa,中间有7～8个数量级的真空过渡。由于束流通道较大,系统在高压强时的气体负载很大。本文通过理论计算,确定该大流量真空差分系统的差分级数;介绍充气反冲谱仪真空差分系统的设计方案;选择能在高压强下连续运行的新型分子/增压泵替代通常采用的罗茨泵作为过渡流范围内的主排气泵,大幅度减小油蒸气对真空系统的污染,从而获得清洁的真空差分系统;介绍了分子/增压泵的性能测试结果,并根据测试结果确定工作频率;介绍了差分系统在实验室分别充入氮气和氦气的实验结果,并分析了实验结果和理论值之间存在一定误差的原因;最后介绍了差分系统上线安装后,与充气反冲谱仪相配合得到的实际差分结果。
6.座舱压力调节器动态试验台真空抽气系统
- 张宝夫;尹宇兴;张国庆;吴国志
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：本文将根据0～20 Km高度与大气压的的关系,通过真空抽气系统对座舱抽真空,飞机快速地模拟空间环境爬升至20km的高度。由于气冷罗茨真空泵组合抽气系统可在任意的压力下起动,任意压差下运行及其组合后可以获得不同的压力,因而在座舱动态试验台中得到较好的使用。
7.气体微流量测量技术的发展
- 张涤新;赵澜;成永军;冯焱;宋瑞海
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：本文介绍了美国NIST、德国PTB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,并对其测量方法,测量装置性能指标进行了评述。
8.正压漏孔校准装置优化设计
- 冯焱;张涤新;成永军;卢耀文;赵澜;赵光平;徐婕
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法。采用特殊设计,将定容室的容积减小到10mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下限。采用主、被动相结合的恒温方法提高恒温精度,使得测量系统温度变化在校准时间内小于0.02K,减小了温度漂移引入的虚流量及测量不确定度。在恒压法正压漏孔校准方法中,提出采用直径小于1mm的精密细活塞及适用的动密封结构,可以将测量下限延伸到10-7 Pa·m3/s量级。通过以上方法,可使正压漏孔校准装置的测量下限优于5×10-7 Pa·m3/s,不确定度小于5%,同时具有较高的工作效率。
9.单片机在阀门控制系统中的应用
- 邓秉林
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：本文简要的介绍了利用单片机实现真空阀门控制的工作原理,阐述了软硬件的具体实现方法。它应用于BEPCII直线加速器真空系统的阀门控制系统,系统选用冷规作为真空度传感器,可同时测量8路信号,具有抗干扰性强,控制准确,实时性强的特点。该控制系统可实现多路控制,具有效率高,体积小,成本低的特点。
10.光纤密封转接的氦质谱检漏技术研究
- 胡茂中;杨丹;廖旭东;白国云
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：为解决光纤进入钢制容器时造成的泄漏问题,密封转接是一种有效方法。分析了光纤转接器灌胶密封结构及其缺陷,证实了转接器内部存在某些特殊的漏孔。研究了光纤密封转接的高灵敏度氦质谱检漏工艺技术,利用光纤多层保护结构形成集气空间,实现了光纤转接器内部漏率的定量检测,系统检测灵敏度高达1.0×10-11 Pa·m3/s。
11.扩散真空泵性能自动测量系统的研制
- 梁文升;张世伟;张志军;徐成海
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：本文介绍了一套新研制的扩散真空泵性能的自动测量系统。该系统可以按照国家标准规定的方法自动检测扩散真空泵的极限压力和抽速曲线。系统利用自主开发的光电液位检测方法和元件实现滴管液位的自动读取和记时;利用步进电机驱动针阀实现气体流量和测试罩内压力的自动调节;使用上位PC机和下位单片机的双级控制系统实现对整个测量系统和测量过程的自动控制。
12.EAST超导托卡马克装置的充气系统
- 吴金华;王小明;胡建生;陈跃;王厚银;李加宏;王骥;鲍立曼;EAST真空技术与壁处理组
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：充气系统是EAST非圆截面全超导托卡马克实验装置的一个重要的子系统。目前EAST充气系统可以提供D2、He、Ar、N2、Ne、CH4等气体,作为等离子体放电、璧处理、偏滤器物理实验、诊断及其它相关实验的工作气体,保证EAST等离子体物理实验的顺利进行。本文介绍了EAST充气系统的组成及功能、充气方式,以及在等离子体放电中所使用的压电晶体阀的工作原理、其流量率和系统响应时间的测试结果。
13.EAST超导托卡马克装置真空抽气系统
- 李加宏;胡建生;王小明;陈跃;余耀伟;王厚银;吴金华;EAST真空技术与壁处理组
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：真空系统在EAST全超导托卡马克装置中是非常重要的组成部分,它主要由内真空室抽气系统和外真空室抽气组成。内真空室抽气系统主要由主抽系统、偏滤器抽气系统、低杂波抽气系统组成,主要为等离子体的稳定运行提供清洁的超高真空环境;外真空室抽气系统主要由主抽系统、电流引线段抽气系统及低温阀箱抽气系统组成,主要为超导磁体的正常运行提供真空绝热条件。EAST真空抽气系统经过三轮物理实验的不断改造和完善,目前基本满足了等离子体物理实验的需要。
14.离子发动机空心阴极寿命预测
- 郭宁;江豪成;顾佐
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：为验证空心阴极的寿命,本文根据空心阴极LaB6发射体的损耗特点,采用数学建模方法对空心阴极的寿命进行了预测。预测结果表明兰州物理研究所研制的空心阴极工作在额定状态下(发射电流5.00A),其寿命可达到40000h以上。3500h寿命试验后空心阴极解剖分析结果初步验证了预测模型的正确性。
15.大型管材真空退火炉计算机监控系统研制测
- 张乃禄;张嘉;尹中荣;徐竟天
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：真空退火是钛、锆等稀有金属及合金材加工的重要工艺过程,真空退火炉的真空度、控温精度和温区均匀性要求越来越受到人们的重视。针对大型钛、锆管材真空退火炉的工艺和控制要求,采用研华工控机(IPC)为上位机,可编程控制器S7-300(PLC)和可编程温度控制仪Eurotherm 3504作为下位机,构成IPC+PLC+智能仪表控制系统(DCS),提出自整定Fuzzy-PID多温区控制策略,实现真空退火过程工艺参数检测与全过程优化控制。生产应用表明,该系统提高真空退火炉真空度、控温精度和温区均匀性具有显著效果,在钛、锆等稀有金属加工领域有广泛的应用前景。
16.真空箱氦检漏回收系统的设计要素
- 唐利利;张政
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：氦质谱检漏仪发展于20世纪40年代,我国的检漏仪器制造开始于60年代初,历经半个多世纪的应用和发展,取得了辉煌的成果,从航空航天、军事工业、科学工程、核工业到轻工、医疗、仪器仪表、汽车、制冷,无处不在。真空检漏发展有两个方面,即一方面是检漏仪器本身,另一方面是检漏工艺技术的发展真空检漏技术广泛应用在电力产品、电子工业、制冷和低温工业、航空航天工业;以及核工业、仪表等等都已采用氦质谱检漏,显示出氦检漏的重要性和不可替代性。传统的检漏方法灵敏度低,使用烦杂,工作强度大等因素,已被高灵敏度、规范化、效率高的真空检漏技术--氦气回收检漏系统所代替并取得理想的效果。
17.真空冷却过程中真空室内温度变化的试验研究
- 金听祥;李改莲;胡春霞
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：该文以熟肉为实验材料,对真空冷却过程中真空室内温度变化进行了实验研究。结果发现:真空冷却过程中真空室内的温度会出现一些波动,其变化过程可以分为四个阶段:(1)真空冷却达到闪点之前的降温阶段,真空室内的温度从15.8℃一直降低到10.7℃;(2)蒸发出来的部分水蒸汽在真空室内放出蒸发潜热,导致真空室内温度升高,在这个阶段真空室内的温度从10.7℃升到最高的19.1℃;(3)随着产品温度的降低以及真空室内压力的降低,真空室内的温度从最高的19.1℃降低到最低的6.1℃;(4)由于真空室内放气阀的开启,处于室温的空气进入到真空室内导致真空室内的温度有所上升,真空室的温度从最低的6.1℃升高到最终的13.1℃,一直保持在真空冷却过程结束。
18.真空蒸汽处理系统的研制
- 王琴斐;王晓虎;罗根松;杨华飞
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：本文详述了真空蒸汽处理系统的结构、工作原理、适用范围和独特优良的工作性能,通过与滑阀真空泵及三级罗茨液环机组的对比,说明真空蒸汽处理系统的特点及优势。它与其它抽吸蒸汽的设备相比,具有明显的节水、节油和节电的节能效果。
19.如何选择和使用涡轮分子泵
- 杨乃恒;巴德纯;王晓冬;刘坤
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用于式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油系统,如果操作不当。很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值。
20.双筒牵引复合型分子泵的研制
- 常学森;靳毅;罗宁
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：本文介绍了成都南光机器有限公司新研制的双筒牵引复合型分子泵,对分子泵的研制意义、目的、结构形式、技术要点和不足之处做了介绍。这种新型分子泵的研制提高了国内分子泵制造的技术,为分子泵技术的更新换代开辟了一个新的道路。
21.真空镀膜设备真空系统主泵的配置
- 陈素君;杨静
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况.
22.静态膨胀法真空标准测量容积比的不确定度分析
- 徐婕;李得天;郭美如;赵光平
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：静态膨胀法真空标准是真空计量的基础标准,其精度在很大程度上取决于容积比测量的精度。选用一台高压力气体活塞压力计测量膨胀前气体的压力;利用电容薄膜真空计作为比较器,用一台低压力数字式气体活塞压力计测量膨胀后气体的压力;对静态膨胀法真空标准的容积比进行了测定,并对测量结果进行了不确定度的评定。
23.EAST水平硬X射线诊断单元研究
- 李劼人;林士耀;朱武;胡立群
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：设计制作了用于EAST托卡马克装置水平窗口的基于CdTe探头的硬X射线诊断单元。经与EAST联机试验运行,结果表明,该诊断单元设计原理正确,空间分辨率精度及辐射屏蔽达到设计目标,能够满足测量20keV～200keV能量范围等离子体的硬X射线韧致辐射的要求。
24.液氮温度下JX-6型椰壳炭的性能测试
- 陈长琦;汪明明;张建国;胡纯栋;谢远来;刘智民;NBI组
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：活性炭是NBI低温吸附泵吸附面的关键组成部分,其性能是决定NBI低温泵抽气性能的关键因素之一。本文选取JX-6型椰壳活性炭,用全自动比表面积及孔径分析仪(ASAP2020)在液氮温度下对其性能进行了测试,并对实验数据进行了分析。实验结果表明,该活性炭具有良好的孔隙结构和较强的吸附性能,其最大吸附量达到252cm3/g TP。为进一步研究NBI低温泵的低温吸附抽气提供了理论依据。
25.磁控溅射膜厚均匀性设计方法
- 张以忱;张峻豪;宋青竹
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：镀膜工艺中的薄膜厚度均匀性问题是实际生产中十分关注的。本文在现有的理论基础之上,对溅射镀膜的综合设计方法进行了初步的建立和研究,系统的建立可以采用“整体到部分,再到整体”这一动态设计理念,不断完善设计方法,并将设计方法分为镀膜设备工程设计、镀膜工艺设计和计算机数值仿真三大部分。镀膜设备工程设计、镀膜工艺设计及二者的数值仿真这三者之间是相辅相成的,镀膜设备工程设计决定镀膜工艺过程的实现,镀膜工艺促进镀膜设备的升级,而高性能的计算机仿真设计给两者的设计提供了强有力的支持。
26.真空玻璃
- 董镛
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：通过理论计算及测试数据,说明真空玻璃具有良好的保温(隔热)性能,良好的隔声性能及防结露性能,节能效果明显;介绍真空玻璃“一步法”生产工艺流程及主要技术装备;论述目前制约真空玻璃推广应用的三大瓶颈(安全、价格、自动化)以及突破瓶颈的途径;指出:借鉴中空玻璃的发展经验,积极开发满足不同需求的真空玻璃新品种,将推动真空玻璃产业发展得更好,更快。
27.真空度对阴极材料微结构影响的电子显微分析
- 张德政;包生祥;杜之波
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：针对阴极失效影响因素中的真空度问题,利用扫描电子显微镜以及能谱仪作为研究手段,分析对比了未老炼以及在不同真空条件下老炼的阴极的微观结构以及成分差异,结果表明,真空度降低,阴极中发射物质将与空气中的水汽以及氧反应,导致微观结构发生变化,这对于行波管的封装可靠性提出了较高要求。
28.大型真空干燥设备的研究开发及应用
- 赵祥涛;唐学军;张明学
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：本文介绍了真空低温连续干燥新技术的发展背景,通过技术性分析,探索出了一条解决粮食干燥问题的新途径。加强新一代真空低温连续干燥新技术的推广和应用具有重要的现实意义,必将提高能源利用效率,起到节能减排的作用,为我国绿色干燥技术的发展指明了方向。
29.真空内扭摆磁铁的内真空盒对高次模发热的抑制作用
- 肖琼
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：介绍了BEPCⅡ真空内扭摆磁铁的内真空盒系统。当BEPCⅡ在对撞模式下运行时,真空内扭摆磁铁的间隙拉开到最大值,将内真空盒推入磁极中间,可以使上下游真空盒实现连续光滑的RF过渡,从而降低束流阻抗和高次模发热。通过束流实验观察了内真空盒推入前后磁极表面温度的升高过程,证实了其对于降低磁极上的高次模发热是有效的。在有内真空盒的条件下,观察到磁极表面的平衡温度与总流强和单束团流强的乘积成线性关系。
30.远洋蔬果保鲜现状与对策
- 包骞;孙企达;兰秀凯;卢金言
- 《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》 | 2009年
摘要：随着我国航天技术的发展，我国执行卫星海上测控任务的船舶将经常远赴重洋，每次出航均需携带大量的蔬菜、水果等保障物资。能否使大量的蔬果在船上长期保持新鲜优质，对执行远洋任务的船员身体健康具有重要影响，对提高船员生活质量具有重要作用，对圆满完成远洋任务具有重要意义。本文根据远洋船舶上蔬果保鲜的现状和问题,提出作者的一些对策如采用复合气调保鲜技术等建议。