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一种抑制泡生法蓝宝石单晶缩肩的冷却装置

摘要

本实用新型涉及一种抑制泡生法生长蓝宝石单晶缩肩的冷却装置。该结构整体由导热管、吸热管、散热管组成,导热管为圆环形管路,位于坩埚与加热体之间上部四分之一位置,围绕并靠近坩埚,不与加热体接触,吸热管、散热管与导热管连通且位置对称,通过小炉盖延伸至炉体外部,并与蒸发机连接。导热管、吸热管、散热管均为钨钼材质。本实用新型结构简单,便于安装、拆卸、维修,同时可灵活调节单晶上部缩肩位置换热量,进而改变晶体生长形态,有效抑制晶体缩肩,提高晶体出材。

著录项

  • 公开/公告号CN212505156U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-02-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 哈尔滨秋硕半导体科技有限公司;

    申请/专利号CN202021451290.9

  • 发明设计人 左洪波;杨鑫宏;李铁;吴岩;

    申请日2020-07-22

  • 分类号C30B29/20(20060101);C30B17/00(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号

  • 入库时间 2022-08-22 19:38:20

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