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Cooling Apparatus for growing sapphire single crystal

机译:生长蓝宝石单晶的冷却装置

摘要

The invention relates to a cooling apparatus for growing a sapphire single crystal. The cooling apparatus comprises a crucible bottom which is disposed on the inner bottom surface and to which a seed crystal is fixed, a supply pipe supplying refrigerant to the part to which the seed crystal is fixed, and a refrigerant circulating part of a refrigerant discharge pipe discharging the refrigerant used for cooling the crucible bottom. A first cooling part with a double-pipe structure is formed by an inner pipe connecting an inlet of the refrigerant supply pipe and an outlet of the refrigerant discharge pipe and an outer pipe with the refrigerant circulation inside and around the inner pipe. A cooling tank receiving the first cooling part and a second cooling part filled with cooling water are formed inside.
机译:本发明涉及用于生长蓝宝石单晶的冷却装置。该冷却装置包括:坩埚底部,其设置在内底表面上并且固定有籽晶;供给管,其向固定有籽晶的部分供给制冷剂;以及制冷剂排出管的制冷剂循环部分。排放用于冷却坩埚底部的制冷剂。具有双管结构的第一冷却部由连接制冷剂供应管的入口和制冷剂排出管的出口的内管和具有制冷剂在内管周围和内管周围的外管形成。在内部形成有容纳第一冷却部和填充有冷却水的第二冷却部的冷却箱。

著录项

  • 公开/公告号KR101347056B1

    专利类型

  • 公开/公告日2014-01-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20110099223

  • 发明设计人 박종인;김현철;이종찬;

    申请日2011-09-29

  • 分类号C30B11;C30B29/20;H01L33;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 15:41:48

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