用于在基板装载模块中支撑基板载体的设备、基板载体以及基板装载模块

摘要

描述了一种用于在基板装载模块中支撑基板载体的设备(100)。所述设备包括载体锁定机构(140)，所述载体锁定机构被配置为在所述基板载体的一侧接合所述基板载体(210)，所述载体锁定机构包括主体(145)和接合所述载体的所述一侧的可移动的紧固装置(142)。