用于将基板装载到真空处理模块中的设备和方法、用于为真空处理模块中的真空沉积工艺而处理基板的设备和方法和用于对基板的真空处理的系统

摘要

本公开内容提供了一种用于将基板装载到真空处理模块中的设备。所述设备包括伯努利型保持器，所述伯努利型保持器具有表面，所述表面经构造以面对基板；和气源，经构造以在表面与基板之间导引气流，其中伯努利型保持器经构造以在基板与表面之间提供压力来使基板浮置。基板是大面积基板。