一种叠层无源微混合器

摘要

本实用新型公开了一种叠层无源微混合器，其包括多个PDMS薄固化层和多张间隔纸片，一个PDMS薄固化层上设有具有两个入口和一个出口的通道，其余PDMS薄固化层上设有具有一个入口和出口的通道，自下而上按一个PDMS薄固化层、一张间隔纸片的顺序依次叠放形成叠层结构，最上方为具有两个入口和一个出口的通道的PDMS薄固化层，上下两个通道的位置错开，间隔纸片位于相邻两个PDMS薄固化层的边缘之间使中央区域之间形成有微空腔，上下两个通道通过微空腔连通，相邻两个PDMS薄固化层的外周壁之间密封连接，最上方的通道的两个入口分别作为输入口，最下方的通道的出口作为输出口；优点是混合效率高，结构简单、工艺便捷、工艺成本低。