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一种混沌微流控芯片混合器的微加工

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本文基于混沌混合原理,设计了一种易加工的微流控混合芯片.采用玻璃基材,用常规光刻方法,一次刻蚀得到了旨在促进混合的多层次微结构特征.

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来源
《第三届全国微全分析系统学术会议》|2005年|37-38|共2页
会议地点武汉
作者
方芳; 吴志勇; 徐章润; 戴敬; 方肇伦;
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作者单位

中国化学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体集成电路（固体电路）;制造工艺;分析自动化;
关键词
微流控芯片; 混沌混合器; 玻璃基材; 光刻法;
入库时间 2022-08-17 10:56:46

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