公开/公告号CN211601581U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-09-29
原文格式PDF
申请/专利权人 河钢股份有限公司;
申请/专利号CN201922240258.X
申请日2019-12-14
分类号F27D7/06(20060101);F04B41/06(20060101);F04B37/14(20060101);F04C25/02(20060101);F04B39/16(20060101);
代理机构13108 石家庄冀科专利商标事务所有限公司;
代理人曹淑敏
地址 050023 河北省石家庄市体育南大街385号
入库时间 2022-08-22 17:00:07
机译: 真空系统,一种通过真空系统在真空中运输物体的方法以及真空系统的用途
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置