一种可安装于晶圆清洗槽的广用型对开门档装置

摘要

本实用新型公开了一种可安装于晶圆清洗槽的广用型对开门档装置，包括：驱动机构，所述驱动机构包括第一气缸组件、固定于所述第一气缸组件上的第一旋转曲柄组件、与第一气缸组件结构相同且对称设置的第二气缸组件及固定于所述第二气缸组件上的第二旋转曲柄组件；支撑连接结构，所述支撑连接结构固接于驱动机构上，所述驱动机构带动支撑连接结构进行周向转动；以及门板结构，所述门板结构固定于支撑连接结构上。根据本实用新型，其结构简单实用，通过一对开型的联动挡板结构，有效防止气体逸散与液体喷溅等不利于湿法设备的工艺动作进行以及危害操作人员，且具有安全性、广用性。