公开/公告号CN211403250U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-09-01
原文格式PDF
申请/专利权人 北京晓韬科技有限公司;
申请/专利号CN202020379608.0
申请日2020-03-23
分类号G05D7/06(20060101);G08C17/02(20060101);G08C19/00(20060101);
代理机构11471 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司;
代理人岳凤羽
地址 101149 北京市通州区胡家垡村甲8号院9号楼13层1330室
入库时间 2022-08-22 16:27:31
机译: 质量流量计,质量流量控制器,质量流量计系统以及包含质量流量计和质量流量控制器的质量流量控制系统
机译: 质量流量计,质量流量控制器,质量流量计系统以及包含质量流量计和质量流量控制器的质量流量控制系统
机译: 质量流量控制器,质量流量控制器系统,基板处理装置以及气体流量调整方法