最新のマスフローコントローラ：次世代の半導体プロセスに対応した－気体液体の流量制御機器を開発（リンテックのマスフローコントローラー）

摘要

当社は流体計測制御機器の専業メーカーとして、気体、液体用のマスフローコントローラー（以下MFC）を市場に供給している。 特に半導体製造用途では、Low-k、High-k、各種メタル、強誘電体などの液体材料の流量制御及び気化が重要な課題であり、当社の液体制御気化技術の果たす役割は大きい。 本節では、当社が供給しているMFC関連商品を紹介する。