质量流量传感器、具备该质量流量传感器的质量流量计以及具备该质量流量传感器的质量流量控制器

摘要

为了提供降低了零点波动的质量流量传感器、具备该质量流量传感器的质量流量计以及具备该质量流量传感器的质量流量控制器，本发明的质量流量传感器(20)具备：U形的流路管(23)，其具有底部和从底部连接到端部的两根直线状部，流体从第一端部(21)流向第二端部(22)；以及第一热敏电阻器(24)，其被卷绕在任意一根直线状部；以及第二热敏电阻器(25)，其被设置成与第一热敏电阻器(24)间隔，并靠近端部，被卷绕在第一热敏电阻器(24)所卷绕的直线状部；以及散热部(26)，其隔着第一热敏电阻器(24)，以与第二热敏电阻器(25)成为相反侧的一侧的流路管(23)接触的方式设置。