质量流量控制器系统及控制设备

摘要

本发明提供一种质量流量控制器系统，可以高精度地控制质量流量控制器输出的流量。所述质量流量控制器系统存储表示基准气体的流量值与试样气体CF值的对应关系的关系数据，使用规定的CF值将目标流量换算为基准气体流量，根据换算得到的基准气体流量和与该基准气体流量对应的CF值计算出试样气体流量，并将试样气体流量和目标流量进行比较，基于试样气体流量和目标流量之间的误差，使用对应关系更新在基准气体流量换算或试样气体流量计算中使用的CF值。