一种多尺寸晶圆对中装置

摘要

本实用新型涉及晶圆位置的矫正技术领域，公开了一种多尺寸晶圆对中装置，包括底座，所述底座的顶端两侧均设置有立柱，所述立柱的顶端的设置有气爪，所述气爪的顶端连接有活动块，其中一个所述活动块的顶端固定有上对中卡具，另一个所述活动块的顶端固定有下对中卡具，所述上对中卡具、下对中卡具上均设置有调节机构，所述底座的顶端中部设置有连接气缸，所述连接气缸的输出端设置有承片台，所述承片台上设置有晶圆，所述晶圆的两侧分别与上对中卡具、下对中卡具相匹配。本实用新型通过设置的调节机构能够改变上对中卡具或下对中卡具中固定卡具与移动卡具的间距，从而便于对不同尺寸的晶圆进行对中操作。