公开/公告号CN211036097U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-07-17
原文格式PDF
申请/专利权人 唐山标先电子有限公司;
申请/专利号CN201921757199.7
申请日2019-10-19
分类号
代理机构北京盛凡智荣知识产权代理有限公司;
代理人任娜娜
地址 064202 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西
入库时间 2022-08-22 15:20:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-17
授权
授权
机译: 真空镀膜装置中等离子体源的阴极和真空镀膜装置的等离子体源
机译: 等离子处理系统及真空镀膜和表面处理,包括等离子机理,磁控管品尝,远程阳极,电弧放电,阴极盖,阳极,磁系统,电源阴极和电弧放电电源;一种涂覆基材的方法。
机译: 真空等离子镀膜装置